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2022-04-28 09:20:02
作為工業上批量生產碳化硅的技術,已知一種方法,將含硅(Si)的硅酸質原料(例如硅砂)和含碳的碳質原料(例如石油焦)作為原料,在艾奇遜爐中以1600°C以上的條件進行加熱,由此通過直接還原反應來制造碳化硅。在以往以來所進行的這種利用艾奇遜爐的制造中,原料中雜質含有率高綠碳化硅,難以進行雜質的控制,因此無法制造高純碳化硅粉末。
因此,提出了對純度低的碳化硅粉末進行高純度化的方法。在現有的切片機硅片線切割中,近35—45 %的硅料被切成微粉和少量的鋼線磨損的鐵微粉一起隨切割砂漿進入循環砂漿體系中,并且大量微粉粘附在85碳化硅表面隨砂漿一起參與切割,其結果使砂漿密度和粘度隨之增加,影響了砂漿切割能力,并隨切割時間增長而下降,用戶只能采用每切一刀停機后更換新砂漿來替換廢砂漿和補償砂漿密度的變化,造成大量可用的砂漿一起變成廢砂漿,增加了更換85碳化硅砂漿成本和設備的維護成本。為了適應未來市場需求及價格的競爭,整個行業都在為如何控制輔料環境和降低切割成本而不停地尋找新的途徑。
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